调查可知，静电是净化车间最难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法：

一、选用合适的材料：

1．净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。

2．导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。

3．所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。

二、湿度控制：

在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

三、接地：

接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。

1．净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

2．电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。

3．工艺设备接地。

4．办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。

5．工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

四、中和：

静电消除器是一种能产生电 子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。

将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。